製品情報

EPIXフィルタは、既存のフィルタでは除去できなかったアンモニアや酸性物質などの汚染性ガスを、イオン交換による化学吸着（中和）反応を使って除去する能力を備えた、高性能なケミカルフィルタとして誕生しました。さらに、その高機能性は極低濃度領域においても損なわれることなく、十分に効果を発揮し、吸着したガスの再放出もありません。 半導体製造装置などの高品質な要求に応え、長期間の使用にも安定した実績のある、信頼性の高いケミカルフィルタです。
　㈱イー・シー・イーでは有機ガスを除去できる活性炭シートをEPIX膜と重ね折りした複合（ハイブリッド）フィルタ、さらに活性炭シートをフィルタ加工した有機物フィルタを揃え、総合的な汚染物質の除去対策をご提案いたします。

化学吸着により驚異の除去性能を実現します。

アンモニア除去性能グラフ

EPIXフィルタ概略図

寸法 横寸法(W)、縦寸法(H)及び奥行き寸法(D)は自由に選定できます。
詳細はご相談ください。
EPIX膜の選定 除去対象物質の種類と濃度およびフィルタ設置条件により弊社で選定いたします。
詳細はご相談ください。

※使用材料は半導体工場クリーンルーム適用仕様で統一されております。