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製品情報

クリーンルーム内の微量ガスをキャッチ！

半導体製造や液晶パネル、太陽電池パネルなどの製造工場に設置されたクリーンルームを始め、食品や医薬品製造などの多くの分野において、より清浄な環境空間の必要性がますます高まってきています。EPIX微量ガス除去フィルタはその要求に確実に応えるべく誕生しました。

EPIXフィルタ

極微量な環境中の汚染性ガスを、イオン交換による化学吸着（中和）反応を使って除去する、優れた能力を備えたフィルタです。

ファンフィルタユニット

高性能「EPIXフィルタ」「複合（ハイブリッド）フィルタ」「有機ガスフィルタ」を搭載した、さまざまな用途に対応できる、クリーンエア供給装置です。

機能性材料

高性能「EPIXフィルタ」に応用されている高い要求品質に対応できる品質管理基準に適合した「放射線グラフト重合法」による機能性材料です。
ケミカルフィルタ、金属除去フィルタ、抗菌マスク、電気脱塩装置など、さまざまな産業分野に応用しています。
「EPIX」は荏原製作所の登録商標です。